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이용수6
목 차국문초록 ⅳ영문초록 ⅴ제 1 장 서론 1제 2 장 XY선형 모션 스테이지 시스템의 소개 32.1 반발력 보상 기구의 원리 32.2 XY선형 모션 스테이지 시스템의 구조 4제 3 장 XY선형 모션 스테이지 시스템의 동특성 해석 53.1 동특성 해석을 위한 수치 모델링 53.1.1 XY선형 모션 스테이지 시스템의 동특성 해석 모델 53.1.2 좌표계 시스템 및 변환행렬 정의 73.1.3 해석 모델에 작용하는 힘과 모멘트 93.1.4 해석 모델의 운동방정식 133.1.5 Matlab / Simulink를 이용한 수치 모델링 183.2 해석 모델 검증 203.2.1 Recurdyn / Simulink를 이용한 동특성 해석 모델 203.2.2 해석 조건 223.2.3 해석 결과 비교 253.3 해석 결과 분석 26제 4 장 파라미터 스터디 294.1 모션 프로파일 294.2 반발력 보상 기구의 파라미터 스터디 354.3 베이스 질량 특성에 따른 파라미터 스터디 404.3.1 베이스 질량 및 관성 모멘트에 대한 파라미터 스터디 404.3.2 베이스 무게중심의 편심에 대한 파라미터 스터디 434.4 각 강체들의 무게중심 위치에 따른 파라미터 스터디 48제 5 장 결론 56참고문헌 58부 록 60
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