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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2025.5
- 수록면
- 395 - 406 (12page)
- DOI
- 10.3795/KSME-A.2025.49.5.395
이용수
초록· 키워드
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반도체 제조에서 웨이퍼 표면 상태는 제품 품질과 수율에 매우 중요한 요소이다. 웨이퍼 이송 로봇 블레이드와 웨이퍼 표면 간 충돌로 발생하는 미세 스크래치는 회로 성능을 저하시킬 뿐만 아니라 결함과 비용을 증가시키게 된다. 본 연구는 초기 설치 및 예방 유지보수(PM) 과정에서 로봇 기울기와 웨이퍼 저장 컨테이너(FOUP) 간의 상관관계를 분석하여 로봇 자세를 최적화하는 방법을 제안하고 있다. 모니터링 시스템으로 상대 기울기를 측정하고 데이터를 분석해 기존 로봇으로 스크래치를 줄이며 유지보수 효율을 높이는 방안을 확인하였다.
목차
초록
Abstract
1. 서론
2. EFEM 정렬 오차와 웨이퍼 이송 로봇의 영향
3. 웨이퍼 스크래치 문제점
4. 모니터링 시스템 설계
5. 측정 알고리즘
6. 실험 결과 및 고찰
7. 결론 및 향후 연구
참고문헌(References)
참고문헌 (0)
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