SEM 계측 이미지를 위한 인공지능 SEM 데이터셋 구축 및 Metric 모델 연구

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저자정보: 박형주 (한국전자기계융합기술원) 김기환 (한국전자기계융합기술원) 원종한 (한국전자기계융합기술원) 송규 (한국전자기계융합기술원) 윤찬녕 (한국전자기계융합기술원) 박건영 (한국전자기계융합기술원) 황호진 (한국전자기계융합기술원) 이재윤 (한국전자기계융합기술원) 장동영 (한국전자기계융합기술원)

이용수

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#MI-SEM #3D NAND #AI image processing #Vacuum system #CFE electron source #High-speed wafer handling stage

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