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자료유형
학술저널
저자정보
김홍탁 (경북대학교) 이형락 (경북대학교) 이성엽 (경북대학교)
저널정보
한국물리학회 새물리 새물리 제71권 제5호
발행연도
2021.5
수록면
433 - 438 (6page)

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본 연구에서는 대향 타겟 스퍼터링 (facing target sputtering) 방법을 사용하여 비정질 질화 탄소 (a-C:N) 박막을 증착하고, 증착 온도 변화에 따른 물성을 조사하였다. 그리고 He-Cd 레이저 (파장 : 325 nm, 파워 : 4 mW) 를 여기 광원으로 이용하여 광발광 특성을 분석하였다. 온도의 증가에 따라 박막의 증착율은 1.6 nm/min에서 5 nm/min으로 증가한다. 녹색 (2.6 eV), 청색 (3.0 eV), 자외선 (3.2 eV) 영역에서 광발광이 관측되고, 성막 온도 증가에 따라서 청색 발광이 감소하고, 자외선 발광이 증가하는 경향을 보인다. 온도의 증가에 따라 C-N 결합비를 나타내는 질소함량비 ([N]/[C+N]) 는 11% 에서 15%로 증가한다. 또한, 온도의 변화에 따라서 질소 삼중결합 N<sub>t</sub> (-N<) 과 이중결합 N<sub>d</sub> (-N=) 은 반비례 관계를 나타내며, Nt 의 결합비 ([N<sub>t</sub>]/[N<sub>t</sub>+N<sub>d</sub>]) 는 80%에서 93%로 증가한다. 광발광의 결과와 비교하였을 때, a-C:N 박막 내부에서의 N<sub>t </sub>의 비와 자외선 발광 세기는 밀접한 관계가 있다고 유추할 수 있으며, 이러한 변화가 박막의 광학적 특성과 광발광 특성에 주요한 영향을 미치는 것으로 사료된다.
#Amorphous carbon nitride #Facing target sputtering #Photoluminescence #비정질 질화 탄소 #대향 타겟 스퍼터링 #광발광

목차

I. 서론
II. 실험방법
III. 실험결과 및 논의
IV. 결론
REFERENCES

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