열전달 촉진을 위한 이중 구성의 TPMS 를 이용한 반도체 척의 냉각시스템 최적설계

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저자정보: 박소현 (한국생산기술연구원) 이승엽 (한국생산기술연구원) 최우성 (한국생산기술연구원) 정현국 (스타코) 김건우 (한국생산기술연구원)

저널정보: Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2024년도 추계학술대회 논문집

이용수

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#TPMS (Triply periodic minimal surfaces) #Semiconductor #Wafer testing #Thermal uniformity #Heat transfer enhancement

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