CFD 기반 에어 베어링 스테이지의 유동 특성 및 성능 향상 연구

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저자정보: 정수진 (한국공학대학교) 김기현 (한국공학대학교) 심재홍 (한국공학대학교) 조민준 (한국공학대학교) 장찬혁 (한국공학대학교) 김효영 (한국공학대학교)

저널정보: Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2024년도 추계학술대회 논문집

이용수

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#Air bearing stage #CFD simulation #Vortex formation #Design optimization

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