Trends in High Reflectance Coating Technologies for Cavity Ring-down Spectroscopy for Gas Detection

정행윤; 박준

doi:10.7736/JKSPE.024.078

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자료유형: 학술저널

저자정보: 정행윤 (한국광기술원) 박준 (한국광기술원)

저널정보: Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering Vol.41 No.10

발행연도: 2024.10

수록면: 747 - 752 (6page)

DOI: 10.7736/JKSPE.024.078

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Cavity ring-down spectroscopy (CRDS) is an ultra-sensitive direct absorption technique that offers unique advantages compared to other spectroscopic techniques. It can measure cooperative enhanced absorption for weakly absorbing species at ultra-low concentrations. This is achieved by leveraging the concept of a stable optical cavity, which allows for an effective optical path length of several kilometers within a small physical sample length. One advantage of CRDS technology is that it is unaffected by fluctuations in the intensity of the light source. Another advantage is its applicability to the detection of atoms, molecules, and radicals in the atmosphere. Additionally, the equipment associated with this technology is compact and robust. This paper will first introduce the fundamental principles and setup of CRDS technology. It will then provide an overview of the characteristics of the fabrication equipment and the high reflectivity mirror coating process used in cavity ring-down spectroscopy.

#Cavity ring-down spectroscopy (공동 광자감쇠 분광법) #High reflective mirror (고반사 거울) #Gas detection (가스 검출) #Evaporation (증발법) #Sputter (스퍼터)

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O’Keefe, A., Deacon, D. A. G., (1988), Cavity ring-down optical spectrometer for absorption measurements using pulsed laser source, Review of Scientific Instrument, 59(12), 2544-2551.

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Gadedjisso-Tossou, K. S., Stoychev, L. I., Mohou, M. A., Cabrera, H., Niemela, J., Danailov, M. B. Vacchi, A., (2020), Cavity ring-down spectroscopy for molecular trace gas detection using a pulsed DFB QCL emitting at 6.8 μm, Photonics, 7(3), 74.

Ma, G., He, Y., Chen, B., Deng, H., Liu, Y., Wang, X., Zhao, Z., Kan, R., (2021), Quasi-simultaneous sensitivity detection of two gas species by cavity-ringdown spectroscopy with two lasers, Sensors, 21(22), 7622.

Yumoto, M., Kawata, Y., Wada, S., (2022), Mid-infrared-scanning cavity ring-down CH2F2 detection using electronically tuned Cr:ZnSe laser, Scientific Reports, 12(1), 7879.

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