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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 저널정보
- 대한전자공학회 JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE Journal of Semiconductor Technology and Science Vol.24 No.4
- 발행연도
- 2024.8
- 수록면
- 316 - 322 (7page)
- DOI
- 10.5573/JSTS.2024.24.4.316
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A tilted plate electrostatic actuator (TPEA) capable of producing large electrostatic forces is proposed. TPEA consists of an inclined top plate with one edge touching the floor, a torsional spring that holds the top plate to the structure, and a bottom electrode. As a result of theoretical and simulation analysis, TPEA has an electrostatic force that is 6.5 times and 22.8 times greater than the existing parallel plate actuator and vertical comb actuator, respectively. Specifically, the electrostatic force per unit area is 195 N for a vertical comb actuator, 731 N for a parallel plate actuator, and 4.7 kN for TPEA. TPEA can generate the same electrostatic force with only 21% of the applied voltage compared to the vertical comb actuator. Specifically, a voltage of 50 V must be applied to generate a force of 195 N in a vertical comb actuator, whereas a voltage of 10.5 V only needs to be applied in TPEA.
목차
Abstract
I. INTRODUCTION
II. WORKING PRINCIPLE AND THEORETICAL ANALYSIS
III. SIMULATION RESULTS
IV. CONCLUSIONS
REFERENCES
참고문헌 (8)
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Pikner, H.; Sell, R.; Karjust, K.; et al. "Cyberphysical control system for autonomous logistic robot," 2021 IEEE 19th International Power Electronics and Motion Control Conference (PEMC). IEEE, 2021.
Zhao, X.; Sun, P.; et al. "Fusion of 3D LIDAR and camera data for object detection in autonomous vehicle applications," IEEE Sensors Journal, Vol. 20, No. 9, pp. 4901-4913, 2020.
Li, N.; Ho, C. P., Xue, J.; et al. "A progress review on solid‐state LiDAR and nanophotonics‐based LiDAR sensors," Laser & Photonics Reviews, Vol. 16, No. 11, 2100511, 2022.
Yoo, H. W.; Druml, N.; Brunner, D.; et al. "MEMS-based lidar for autonomous driving," e & i Elektrotechnik und Informationstechnik, 2018.
Farrugia, R.; Portelli, B.; Grech, I.; et al. "Design and Fabrication of High Performance Resonant MicroMirrors using the Standard SOIMUMPs Process," 2020 Symposium on Design, Test, Integration & Packaging of MEMS and MOEMS (DTIP), Lyon, France, pp. 1-6, 2020.
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