Investigation of adhesion at LPCVD and PECVD silicon nitride/copper film interface by laser spallation technique

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저자정보: Young-Min Ju (Hanyang University) Dukyong Kim (Hanyang University) Se-Min Lee (Hanyang University) Hui-Jin Um (Hanyang University) Daewoong Lee (SK hynix) Yeontaek Hwang (SK hynix) Seung Hwan Lee (Hanyang University) Hak-Sung Kim (Hanyang University)

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#Thin film #interface strength #laser spallation technique #delamination

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