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자료유형
학술저널
저자정보
신재민 (숭실대학교) 안형준 (숭실대학교)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering Vol.41 No.3
발행연도
2024.3
수록면
169 - 174 (6page)
DOI
10.7736/JKSPE.023.108

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The pneumatic vibration isolator is economical, has no risk of contamination, and attains high vibration isolation performance by lowering the natural frequency. Pressure feedback control is used to improve the response speed of the pneumatic vibration isolator and keep the internal pressure of the pneumatic actuator constant. In this paper, the vibration isolator was actively controlled by estimating the internal pressure of the pneumatic actuator with the displacement signal. A pneumatic actuator was modeled and its dynamic characteristics were identified through frequency response measurements. A pressure observer based on relative displacement was designed, and the observer control gain was adjusted with nominal model and experiments. Pressure estimation performance and active vibration suppression performance using a pressure observer were verified through experiments. The pressure of the pneumatic actuator was estimated by the observer, and measurement noise was eliminated effectively. In addition, vibration isolation performances of direct and estimated pressure feedback showed no difference, verifying the effectiveness of the pressure observer.
#Pneumatic vibration isolator (공압 제진대) #System identification (시스템 식별) #Pressure observer (압력 관측기) #Pressure feedback control (압력 궤환 제어)

목차

1. 서론
2. 공압 제진대 시스템 식별
3. 압력 관측기
4. 제진 성능을 통한 압력 관측기 효과성 검증
5. 결론
REFERENCES

참고문헌 (7)

참고문헌 신청
Robert, H., Munnig, S., (2012), Ultra-precision engineering in lithographic exposure equipment for the semiconductor industry, Philosophical Transactions of The Royal Society A, 370(1973), 3950-3972. google schola Collette, C., Janssens, S., Artoos, K., (2011), Review of active vibration isolation strategies, Recent Patents on Mechanical Engineering, 4(3), 212-219. google schola Nakamura, Y., Kawakami, H., Wakui, S., (2015), Bandwidth expansion of a pressure control system for pneumatic anti-vibration apparatuses in presence of dead time, Journal of Advanced Mechanical Design, Systems, and Manufacturing, 9(3), JAMDSM0031. google schola Aizaki, H., Wakui, S., (2011), An estimation method of inner pressure of pneumatic active anti vibration apparatus using minimum order observer, Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers, Series C, 77(774), 309-318. google schola Wakui, S., Fushima, C., (2006), Wide frequency band of pressure feedback using positive feedback for an air spring type anti-vibration apparatus, Nippon Kikai Gakkai Ronbunshu C Hen (Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers Part C), 18(7), 2219-2225. google schola

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