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이지혁 (고려대학교) 이윤주 (고려대학교) 홍현 (고려대학교) 조은솔 (고려대학교) 박지영 (고려대학교) 김주현 (고려대학교) 강민진 (고려대학교) 황의선 (고려대학교) 정병호 (고려대학교)
저널정보
한국광학회 한국광학회지 한국광학회지 제34권 제6호
발행연도
2023.12
수록면
241 - 247 (7page)

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본 연구에서는 355 nm 파장의 나노초 레이저를 비정질 실리콘 박막에 조사하여 형성된 주기적 laser-induced periodic surface structure (LIPSS) 구조의 분광학적 특성을 연구하였다. 지름 196 mm의 가우시안 빔을 단위면적당 레이저 펄스 190–280회, 레이저 빔의 세기는 100–130 mJ/㎠ 범위에서 ‘ㄹ’ 자 형태로 2차원 스캔하였다. 그 결과 Si 박막 표면에 ~300 nm 주기의 LIPSS 구조가 레이저 편광에 수직 방향으로 정렬되었다. 시료의 투과율 스펙트럼을 측정하여 transverse-electric 편광과 transverse-magnetic 편광에 대해서 각각 700 nm, 500 nm 근방에서 dip이 관측되었다. 이 현상을 설명하기 위해 1차원 격자구조 모델을 이용하여 rigorous coupled-wave analysis를 이용한 시뮬레이션을 하여 편광에 따른 도파모드 공진에 의한 특성임을 규명하였다.
#Guided-mode resonance #Laser materials processing #Surface ripples #Thin film #도파모드 공진 #레이저-소재 가공 #표면 돌기 #박막

목차

Ⅰ. 서론
Ⅱ. 본론
Ⅲ. 결론
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