Glanced Angle Deposition of Lanthanum Strontium Cobalt Ferrite via Shadow Effect of Sputtering for Solid Oxide Fuel Cells

S. J. Lee; S. W. Cha

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: S. J. Lee (서울대학교) S. W. Cha (서울대학교)

저널정보: Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2023년도 추계학술대회 논문집

발행연도: 2023.11

수록면: 113 - 113 (1page)

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#Glanced angle deposition #Sputtering #Physical vapor deposition #Solid oxide fuel cell #Thin film solid oxide fuel cell

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