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학술대회자료
저자정보
정준호 (한국화학융합시험연구원) 신지호 (한국화학융합시험연구원) 임광수 (한국화학융합시험연구원) 황범구 (한국화학융합시험연구원) 이진경 (한국화학융합시험연구원)
저널정보
한국분석과학회 한국분석과학회 학술대회 제71회 한국분석과학회 추계학술대회 [초록집]
발행연도
2023.11
수록면
252 - 252 (1page)

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2023

반도체 공정용 염화 알루미늄 및 염화 하프늄 상용표준물질 개발
정준호 ,  신지호 ,  임광수 외 2명 한국분석과학회 학술대회 2023.11 학술대회자료
반도체 high-K 박막 ALD(Atomic layer deposition) 공정용 고순도 전구체 상용표준물질의 안정도 평가
정준호 ,  신지호 ,  임광수 외 3명 한국분석과학회 학술대회 2023.05 학술대회자료

2022

반도체 high-K 박막 ALD(Atomic layer deposition) 공정용 고순도 전구체 상용표준물질 개발에 관한 연구
정준호 ,  임광수 ,  황범구 외 3명 한국분석과학회 학술대회 2022.11 학술대회자료

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