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저자정보
박종락 (조선대학교) 범태원 (삼성SDI 주식회사 전자재료사업부) 김영식 (삼성SDI 주식회사 전자재료사업부) Tom D. Milster (The university of Arizona) 박승태 (조선대학교) 권해혁 (조선대학교)
저널정보
조선대학교 공학기술연구원 공학기술논문지 공학기술논문지 제15권 제4호
발행연도
2022.12
수록면
157 - 161 (5page)
DOI
10.35272/jaet.2022.15.4.157

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We studied the aerial image of an laser direct writing system. An analytical expression for the pixel image was introduced and a concise formula for the aerial image of the system was presented. Simulations of a sawtooth pattern having various period values were performed. The aerial image contrast was obtained as a function of the sawtooth pattern period. It was found that the shorter the period, the worse the aerial image contrast. For sawtooth pattern periods larger than 84.0 ㎛ (40-pixel), the image contrast was greater than 0.9, while for sawtooth pattern periods smaller than 10.5 ㎛ (5-pixel), the image contrast was lower than 0.5
#Laser direct writing #Aerial image #Raster scanning #Maskless lithography

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