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학술저널
저자정보
김혜원 (경상국립대학교) 임혜원 (경상국립대학교) 박정우 (동의대학교) 이상민 (동의대학교) 김형모 (경상국립대학교)
저널정보
한국트라이볼로지학회 Tribology and Lubricants Tribology and Lubricants 제39권 제5호
발행연도
2023.10
수록면
197 - 202 (6page)

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2023

비정형 기둥 형상을 가진 나노구조에서의 가스 투과성 실험 연구
김혜원 ,  임혜원 ,  박정우 외 2명 Tribology and Lubricants 2023.10 학술저널

2022

비정형 기둥 형상의 나노 표면 구조에서의 가스 투과성 실험 연구
김혜원 ,  김나연 ,  강동관 외 2명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2022.05 학술대회자료

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Recently, research on experimental and analytical techniques utilizing microfluidic devices has been pursued. For example, lab-on-a-chip devices that integrate micro-devices onto a single chip for processing small sample quantities have gained significant attention. However, during sample preparation, unnecessary gases can be introduced into the internal channels, thus, impeding device flow and compromising specific function efficiency, including that of analysis and separation. Several methods have been proposed to mitigate this issue, however, many involve cumbersome procedures or suffer from complexities owing to intricate structures. Recently, some approaches have been introduced that utilize hydrophobic device structures to remove gases within channels. In such cases, the permeability of gases passing through the structure becomes a crucial performance factor. In this study, a method involving the deposition and sintering of diluted Ag-ink onto a silicon wafer surface is presented. This is followed by unstructured nano-pattern creation using a Metal Assisted Chemical Etching (MACE) process, which yields a nanostructured surface with unstructured pillar shapes. Subsequently, gas permeability in the spaces formed by these surface structures is investigated. This is achieved by experiments conducted to incorporate a pressure chamber and measure gas permeability. Trends are subsequently analyzed by comparing the results with existing theories. Finally, it can be confirmed that the significance of this study primarily lies in its capability to effectively evaluate gas permeability through unstructured pillar-like nanostructures, thus, providing quantitative values for the appropriate driving pressure and expected gas removal time in practical device operation.
#Degassing(기체 제거) #Gas permeability(가스 투과성) #Unstructure nanostructures(비정형 나노구조물) #Metal assisted chemical etching(금속을 촉매로 한 화학적 식각 방법)

목차

Abstract
1. 서론
2. 제작 및 실험방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
References

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