Synthesis of Novel Oxime Benzophenone-based Photoinitiator for Application in KrF Photoresist

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저자정보: 장기철 (한국생산기술연구원) 백승환 (한국생산기술연구원) 백정주 (한국생산기술연구원) 송효진 (한국생산기술연구원) 박혜린 (한국생산기술연구원) 이강국 (한국생산기술연구원) 김영훈 (한국생산기술연구원) 신교직 (한국생산기술연구원)

이용수

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