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김진형 (한국전자기술연구원) 이권홍 (한국전자기술연구원) 신규식 (한국전자기술연구원) 김상식 (한국전자기술연구원) 구승현 (한국전자기술연구원) 최자인 (한국전자기술연구원) 차철웅 (한국전자기술연구원)
저널정보
대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 2023년도 대한전자공학회 하계학술대회 논문집
발행연도
2023.6
수록면
2,985 - 2,989 (5page)

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Recently, as environmental problems have grown, and among them, fine particles such as fine dust/fine plastic have become a problem, research on fine particle sensors is being actively conducted. In previous studies, the form of simply concentrating fine particles at a high concentration and putting them into a trapping space for measurement was used, and sensors with a structure of reading changes in S-parameters, especially reflection coefficient (S11), at a specific frequency using LC resonance were proposed. This form is not favorable for measuring fine particles that exist in extremely low concentrations in real-life environments. While the structure of reading reflection coefficient (S11) may be convenient for reading with commercial measurement equipment such as a Network Analyzer, it is advantageous to read transmission coefficient (S21) for commercialization. In this study, we captured lowconcentration fine particles dispersed in liquid using MEMS-based microfluidics and filter structures, thereby improving the sensitivity. Additionally, we designed the sensor to read transmission coefficient (S21) instead of reflection coefficient (S11) to increase commercial feasibility. As a result, we designed a fine particle measurement sensor with a center frequency of 1.2 GHz, and confirmed that the frequency shifted from 1.2028 GHz to 1.1929 GHz by inputting microplastics (PE).

목차

Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 본론
Ⅲ. 제작 및 측정 결과
Ⅳ. 결론 및 향후 연구 방향
참고문헌

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