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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2023.7
- 수록면
- 359 - 366 (8page)
- DOI
- 10.3795/KSME-B.2023.47.7.359
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초록· 키워드
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반도체 공정에서는 오염입자로 인해 수득률이 떨어지기 때문에 공정 중 주변환경의 오염입자를 검사하고 제어하는 것이 매우 중요하다. 본 연구에서는 합성곱신경망(convolutional neural network)기법을 활용하여 고대역 메모리(HBM: high bandwidth memory) 조립 차감 단계 공정에서 발생한 오염입자에 대해 제품 반출 및 성분분석 과정을 생략하고 즉시 성분을 확인할 수 있는 실시간 성분 유형 예측 시스템을 개발하였다. 모델 학습을 위한 데이터는 HBM 입자 오염 원인규명 연구를 수행하면서 확보한 성분분석 결과와 외관검사기의 불량 이미지를 합성한 데이터이며 심층학습 모델은 공정별 28종 입자 오염 이미지를 입력 받고 성분 결과를 예측하였다. 모델 성능 향상을 위해 이미지 데이터의 필요한 영역만 학습하도록 알고리즘을 추가한 결과 우수한 모델 정합성 성능 향상 효과를 확인하였다. 추가 성능 향상을 위해 입자오염 및 외관 검사기 특성을 고려한 모델 이미지 증식 기법과 실제와 같은 모사 이미지를 생성하는 생산적적대신경망(generative adversarial networks) 기법을 활용하였다. 학습 데이터를 증대하고 모델 앙상블(model ensemble)을 통해 학습한 결과 각 공정별 정합성에서 93% 이상의 높은 성능을 보였다.
목차
초록
Abstract
1. 서론
2. 연구방법
3. 실험결과 및 토의
4. 결론
참고문헌
참고문헌 (16)
참고문헌 신청
Park, J. S. and Lee, J. H., 2020, “A Study on the Effect of Air on Particle Cleaning at Wafer Surface,” Trans. Korean Soc. Mech. Eng. B, Vol. 44, No. 9, pp. 583~590.
Lee, S. Y., Choi, J. H., Jhe, J. H., Lee, L. S. and Ahn, B. C., 2008, “Study of the Hydrogen Concentration of SiNx Film by Fourier Transform Infrared Spectroscopy,” Journal of the Korean Vacuum Society, Vol. 17, No. 3, pp. 215~219.
Kim, H. J., Lee, J. T. and Kim, D. S., 1999, “A Study on Individual Diesel Particles by SEM/EDX,” Journal of the Korean Society for Atmospheric Environment, Vol. 15, No. 2, pp. 175~182.
Jeong, B. and Lee, J., 2017, “Effective Density and Light Absorption Cross Section of Black Carbon Generated in a Spark Discharger,” Journal of Aerosol Science, Vol. 107, pp. 55~64.
Noh, K. C., Lee, H. C., Kim, D. Y. and Oh, M. E., 2007, “Method of Particle Contamination Control For Yield Enhancement in the Cleanroom,” Trans. Korean Soc. Mech. Eng. B, Vol. 31, No. 6, pp. 522~530.
Lee, S. Y., Choi, J. H., Jhe, J. H., Lee, L. S. and Ahn, B. C., 2008, “Study of the Hydrogen Concentration of SiNx Film by Fourier Transform Infrared Spectroscopy,” Journal of the Korean Vacuum Society, Vol. 17, No. 3, pp. 215~219.
Kim, H. J., Lee, J. T. and Kim, D. S., 1999, “A Study on Individual Diesel Particles by SEM/EDX,” Journal of the Korean Society for Atmospheric Environment, Vol. 15, No. 2, pp. 175~182.
Jeong, B. and Lee, J., 2017, “Effective Density and Light Absorption Cross Section of Black Carbon Generated in a Spark Discharger,” Journal of Aerosol Science, Vol. 107, pp. 55~64.
Noh, K. C., Lee, H. C., Kim, D. Y. and Oh, M. E., 2007, “Method of Particle Contamination Control For Yield Enhancement in the Cleanroom,” Trans. Korean Soc. Mech. Eng. B, Vol. 31, No. 6, pp. 522~530.
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