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저자정보
송인웅 (한국표준과학연구원) 권우성 (한국표준과학연구원) 김학용 (한국표준과학연구원) 이윤우 (한국표준과학연구원) 이종웅 (청주대학교) 양호순 (한국표준과학연구원)
저널정보
한국광학회 한국광학회지 한국광학회지 제34권 제3호
발행연도
2023.6
수록면
117 - 123 (7page)

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반사경의 광학면이 넓어질수록 높은 공간 주파수 형상이 광학계의 성능에 큰 영향을 주므로, 대형 반사경 성능 평가에서 이를 측정할 수 있어야 한다. 따라서 높은 주파수의 형상을 샘플링할 수 있는 고해상도 형상 측정 시스템이 필요하다. 본 연구에서는 반사경의 고해상도 형상 측정을 위한 회전 프리즘 정합 간섭계(rotational prism stitching interferometer, RPSI)라는 새로운 방법을 제안한다. RPSI는 기존에 사용되고 있는 상용 간섭계에 빔 확장 렌즈, 이송 거울, 회전 프리즘 등을 추가하여 구성되었으며, 간섭계를 움직이지 않고 원통 좌표계를 기준으로 전체 구경을 아우르는 부분 구경 형상들을 측정한다. 측정된 부분 구경들은 최소자승법을 이용한 부분 구경 정합법을 이용하여 정합되며, 빔 확장 렌즈 배율의 제곱만큼 높은 샘플링 밀도로 전체 구경 형상 정보를 복원 가능하다. 3배율을 가지는 RPSI를 이용하여 직경 40 ㎜의 구면 반사경 형상을 측정하였고, 간섭계 단독으로 측정한 전체 구경 형상과 비교 검증하였다. 약 1 ㎚ RMS의 근소한 차이로 유사한 형상을 잘 복원할 수 있었으며, 간섭계 단독으로 사용한 형상 측정 결과보다 렌즈의 배율의 제곱배만큼 향상된 샘플링 밀도로 형상 측정이 가능함을 확인하였다.
#Interferometry #Rotational prism #Sub-aperture stitching #Surface figure testing #간섭계 #회전 프리즘 #부분 구경 정합법 #표면 형상 측정

목차

Ⅰ. 서론
Ⅱ. 회전 프리즘 정합 간섭계
Ⅲ. 시스템 구성 및 검증
Ⅳ. 구면 반사경의 고해상도 형상 측정
Ⅴ. 결론 및 향후계획
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