Systematic Review on Design and Development of Efficient Semiconductor Based Surface Acoustic Wave Gas Sensor

Payal Patial; Manish Deshwal

doi:https://doi.org/10.1007/s42341-021-00332-1

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자료유형: 학술저널

저자정보: Payal Patial (Chandigarh University) Manish Deshwal (Chandigarh University)

저널정보: 한국전기전자재료학회 Transactions on Electrical and Electronic Materials Transactions on Electrical and Electronic Materials 제22권 제4호

발행연도: 2021.8

수록면: 385 - 393 (9page)

DOI: https://doi.org/10.1007/s42341-021-00332-1

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In today’s digital world, the industries have adopted the automized machines that are remotely controlled. So in such environment various types of monitoring have become an essential part. One of them is gas sensing mechanisms that are implemented to monitor various types of harmful /toxic/fl ammable gases. As available in the literature, there are various methods available for the detection of such gases. In the present review, the authors are considering the Surface Acoustic Waves based gas sensors only. The present review paper discusses about various parameters that can be enhanced for an optimized sensitivity and the selectivity for a particular sensor. The present study also compares the bulk material sensing properties with sensing properties of thin fi lms. The thin films are generally distinguished from bulk material due to their thicknesses that are in the range of several nanometers but much less than 700 nm after which a material attains bulk properties.

#SAW #Semiconducting oxide based gas sensors #Piezoelectric based gas sensors

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Payal Patial

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