열처리에 따른 MWCNT/ZnO 복합체 필름 가스센서의NOX 가스 검출 특성

김현수; 장경욱

doi:https://doi.org/10.4313/JKEM.2018.31.7.521

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저자정보: 김현수 (청강문화산업대학교 스마트미디어전공) 장경욱 (가천대학교)

저널정보: 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제31권 제7호

발행연도: 2018.11

수록면: 521 - 526 (6page)

DOI: https://doi.org/10.4313/JKEM.2018.31.7.521

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In particular, gas sensors require characteristics such as high speed, sensitivity, and selectivity. In this study,we fabricated a NOX gas sensor by using a multi-walled carbon nanotube (MWCNT)/zinc oxide (ZnO) composite film. The fabricated MWCNT/ZnO gas sensor was then treated by a 450℃ temperature process to increase its detectionsensitivity for NOx gas. We compared the detection characteristics of a ZnO film gas sensor, MWCNT film gas sensor,and the MWCNT/ZnO composited film gas sensor with and without the heat-treatment process. The fabricated gassensors were used to detect NOX gas at different concentrations. The gas sensor absorbed NOX gas molecules, exhibitingincreased sensitivity. The sensitivity of the gas sensor was increased by increasing the gas concentration. Additionally,while changing the temperature inside the chamber for the MWCNT/ZnO composite film gas sensor, we obtained itssensitivity for detecting NOX gas. Compared with ZnO, the MWCNT film gas sensor is excellent for detecting NOX gas. From the experimental results, we confirmed the enhanced gas sensor sensing mechanism. The increased effect byelectronic interaction between the MWCNT and ZnO films contributes to the improved sensor performance.

#MWCNT/ZnO composite film gas sensor #Detection mechanism #Heat treatment #Carrier concentrations

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김종구 / 2012 / 다공성 및 아민 작용기에 따른 탄소나노섬유의 CO2 감응특성 / 공업화학 23(1):47~52

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Sei-Hyun Lee / 2010 / An increase in gas sensitivity and recovery of an MWCNT-based gas sensor system in response to an electric field / Chemical Physics Letters 497(4-6):191~195

J. G. Park / 2000 / J. Kor. Inst. Met. & Mater 13:38

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