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문성철 (한국산업기술대학교 신소재공학과) 이지선 (한국산업기술대학교) 노경재 (한국산업기술대학교) 양성주 (한국산업기술대학교 신소재공학과) 이성의 (한국산업기술대학교)
저널정보
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제30권 제8호
발행연도
2017.8
수록면
508 - 513 (6page)
DOI
https://doi.org/10.4313/JKEM.2017.30.8.508

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자외선 센서는 광 통신, 화재 감지, 미사일 화염 탐지, 천문학, 생물학, 환경연구를 포함한 산업 및 군사분야에 적용되고 있지만, 넓은 밴드갭을 갖는 Schottky junction diodes와 PN-junction diodes를 이용한 자외선 센서의 경우 가격이 높고, 낮은 양자효율을 갖는다는 문제가 있다. 본 논문에서는 공정단가가 낮고, Flexible 기판 상 소자 제작이 용이한 용액공정을 이용하여 자외선 센서 제작이 가능한 재료의 특성연구를 진행하였고, 넓은 밴드갭을 갖는 p-type NiO와 n-type ZnO를 Sol-gel법으로 제조하여 Spin coating 공정 조건 및 열처리 조건에 따른 특성을 비교하였다.

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