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저자정보
장민형 (부산대학교) 임유성 (부산대학교) 최승일 (부산대학교) 박지인 (부산대학교) 황남경 (부산대학교) 이문석 (부산대학교)
저널정보
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제30권 제5호
발행연도
2017.5
수록면
288 - 293 (6page)
DOI
https://doi.org/10.4313/JKEM.2017.30.5.288

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Fe2O3는 가스 센서로 이용되는 싼 가격과, 높은 안정성으로 인해 산화물 반도체 중 매우 중요한 물질이다. 잘 알려져 있듯이 Fe2O3의 구조와 결정상, 크기는 가스 감지에 크게 영향을 미친다. Fe2O3를 이용하여 NO2, NH3, H2S, H2, CO 등을 감지하는 가스 센서에 대한 연구가 많이 진행 된 바 있다. 본 연구에서는 다양한 가스 센서 제조 공정 중에서 공정과정이 간단한 Sol-Gel법을 이용하여 제조한 Fe2O3 nanoparticle에 촉매 역할을 하는 Pt를 doping하여 감도 특성을 개선하고자 한다. 제조된 Fe2O3 가스센서는 Pt를 3% 첨가했을 시 300℃에서 NO2에 대한 감도가 21.23%로 우수함 감도를 나타내었고, 선택성도 가장 우수하였다. 이러한 결과는 Fe2O3가 NO2 감지를 위한 가스 센서 물질로 사용될 수 있음을 보여준다.

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