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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
차영광 (비츠로이엠 기술연구소) 이일회 (비츠로이엠 기술연구소) 전기범 (㈜비츠로이엠 기술연구소) 장지훈 (㈜비츠로이엠 기술연구소) 주흥진 (비츠로테크 기술연구소) 최승길 (신안산대학교)
저널정보
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제35권 제3호
발행연도
2022.5
수록면
232 - 240 (9page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2022

최대 전압 12 kV, 커패시턴스 50~500 pF 가변 진공커패시터 개발
차영광 ,  이일회 ,  전기범 외 3명 전기전자재료학회논문지 2022.05 학술저널
50~500㎊ 커패시턴스 가변형 진공커패시터의 전극 설계 및 평가
차영광 ,  이일회 ,  전기범 외 2명 전기학회논문지 2022.02 학술저널

2021

50-500pF 가변형 진공커패시터의 전극 설계 및 평가
차영광 ,  이일회 ,  전기범 외 1명 대한전기학회 학술대회 논문집 2021.07 학술대회자료

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A variable vacuum capacitor (VVC), which is a variable element, is used to match impedance in plasma that changes with various impedance values, and its use is expanding with the rapid growth of the semiconductor business. Since VVCs have to secure insulation performance and vary capacitance within a compact size, electrode design and manufacturing are very important; thus, various technologies such as part design and manufacturing technology and vacuum brazing technology are required. In this study, based on the model of an advanced foreign company that is widely used for impedance matching in the manufacture of semiconductors and displays, a VVC that can realize the same performance was developed. The electrode part was designed, the consistency was confirmed through analysis, and the precision of capacitance was improved by designing a cup-type electrode to secure the concentricity of the electrode. As a result of the evaluation, all requirements was satisfied. We believe that self-development will be possible if satisfactory responses are received through evaluation by VVC consumers in the future.
#Variable vacuum capacitor (VVC) #Insulation performance #Capacitance #Impedance matching #Localization

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