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I. 서론
II. 단일 조각거울 광축방향 변위 오차와 간섭계 표면 초점오차(defocus)의 관계
III. 간섭계를 이용한 표면 초점오차 측정
IV. 실험 결과
V. 측정불확도 계산
VI. 결론
References
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