서브나노급 표면거칠기 Si 미러 측정방법 비교 분석

최환진; 전은채; 김민철; 여우종; 전민우; 이원균

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저자정보: 최환진 (한국기초과학지원연구원) 전은채 (울산대학교) 김민철 (한국기초과학지원연구원) 여우종 (한국기초과학지원연구원) 전민우 (한국기초과학지원연구원) 이원균 (충남대학교)

저널정보: 한국기계가공학회 한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집 한국기계가공학회 2022년도 추계학술대회 논문집

발행연도: 2022.12

수록면: 155 - 155 (1page)

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2022

서브나노급 표면거칠기 Si 미러 측정방법 비교 분석

최환진 , 전은채 , 김민철 외 3명 한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집 2022.12 학술대회자료

Si 미러의 서브나노 거칠기 측정 신뢰성 향상

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