변위증폭기구가 적용된 박판형 마이크로 액츄에이터 설계 방안

김용대

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 김용대 (경일대학교)

저널정보: 항공우주시스템공학회 항공우주시스템공학회 학술행사 논문집 항공우주시스템공학회 2018년도 춘계학술대회 논문집

발행연도: 2018.4

수록면: 404 - 405 (2page)

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#Displacement amplification mechanism(변위확대기구) #thin film actuator(박판 액츄에이터) #Ni-Co thin film(Ni-Co 박막)

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김용대

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