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저자정보
김도영 (한국기술교육대학교) 신준기 (부산대학교) 장영준 (한국재료연구원) 김종국 (한국재료연구원)
저널정보
한국트라이볼로지학회 Tribology and Lubricants Tribology and Lubricants 제38권 제6호
발행연도
2022.12
수록면
274 - 280 (7page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2022

다구찌 강건 설계를 통한 반도체 Probe상 Ti 도핑된 DLC(ta-C:Ti) 코팅 막의 전도성 및 기계적 물성 연구
김도영 ,  신준기 ,  장영준 외 1명 Tribology and Lubricants 2022.12 학술저널
다구찌 강건 설계를 통한 반도체 Probe상 Ti 도핑 DLC (ta-C:Ti) 코팅 막의 전도성 및 기계적 물성연구
김도영 ,  신준기 ,  장영준 외 1명 한국트라이볼로지학회 학술대회 2022.10 학술대회자료

초록· 키워드

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There is a problem that semiconductor probe pin has a short lifespan. In order to solve this problem, Ti having excellent conductivity was doped to tetrahedral amorphous carbon (ta-C) having excellent hardness and abrasion resistance. This experiment was planned through the Taguchi robust design to determine the effect of the control factor of the ta-C:Ti coating film. The effect and contribution of control factors such as Unbalanced Magnetron Sputter(UBM) discharge current, arc discharge current, temperature, and bias voltage on ta-C:Ti characteristics were analyzed from the perspective of electrical and mechanical characteristics. The UBM discharge current was set to 4, 6, and 8 A. The main control factor of thickness and resistance is the UBM discharge current, and the thickness increased and the resistance decreased as the current increased. The decrease in resistance is due to the increase in the Ti content of the ta-C:Ti coating film. The arc discharge current was set to 60, 80, and 100 A. The main control factor of hardness and wear is the arc discharge current, and as the current rises, the hardness increases and the wear area decreases. This is due to the increased ta-C content of the ta-C:Ti coating film. Since resistance and wear are important for Probe Pin, the optimal level is set from the perspective of resistance and wear and a confirmation experiment is conducted.
#Taguchi robust design(다구찌 강건 설계) #ta-C:Ti(Ti 도핑 ta-C) #Conductive(전도성) #Hardness(경도) #wear(마모)

목차

Abstract
1. 서론
2. 연구방법 및 내용
3. 결과 및 고찰
4. 결론
References

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