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저자정보
지한용 (한국공학대학교) 이유진 (한국공학대학교) 박태준 (한국공학대학교) 김윤석 (한국공학대학교)
저널정보
대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 2022년도 대한전자공학회 추계학술대회 논문집
발행연도
2022.11
수록면
669 - 672 (4page)

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기존 Mask aligner에 광원으로 사용되는 수은램프의 기능적, 환경적 문제점을 보완하기 위해 친환경 광원인 UV LED를 이용하여 광원을 대체하였다.
Mask aligner로써 요구되는 조건인 복사 조도와 uniformity를 충족하기 위해 LED는 4X4 array 로 배열하였으며 광학계는 Diffuser Lens, Condenser Lens로 구성되었고 LED의 넓은 방사각과 광학계의 긴 초점거리를 보완하기 위해 반사경을 추가적으로 설계하였다. 또한 회절을 최소화하고 광학계의 구성을 최소화 하기위해 노광 방식은 Contact exposure법을 채택하였다.
제작품의 시뮬레이션 결과 복사조도 18.8 mW/cm², 균일도 3.15%로 목표 값인 20 mW/cm²의 복사조도와 균일도 3%에 근사한 수치를 확인할 수 있었고, 기존 Mask aligner와 제작한 광원 모듈을 이용해 각각 직접 Photo 공정을 진행하여 비교하였을 때 패턴의 형상, Photoresist층과 웨이퍼의 단차 즉, Photoresist을 반응시킨 정도가 거의 유사함을 확인하였다.

목차

요약
I. 서론
II. 본론
Ⅲ. 실험 및 측정
Ⅳ. 결론 및 논의
참고문헌

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