20인치 극저온 고진공펌프 개발 및 GM 극저온냉동기 내구성 평가

김종우; 고준석; 김효봉; 추상윤; 염한길; 홍용주; 인세환; 박성제; 박지호

doi:10.9726/kspse.2022.26.6.073

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저자정보: 김종우 (한국기계연구원) 고준석 (한국기계연구원) 김효봉 (한국기계연구원) 추상윤 (한국기계연구원) 염한길 (한국기계연구원) 홍용주 (한국기계연구원) 인세환 (한국기계연구원) 박성제 (한국기계연구원) 박지호 (한국기계연구원)

저널정보: 한국동력기계공학회 동력시스템공학회지 동력시스템공학회지 제26권 제6호

발행연도: 2022.12

수록면: 73 - 82 (10page)

DOI: 10.9726/kspse.2022.26.6.073

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This research paper handles fabrication and testing issues during localization of a 20-inch cryopump. The developed cryopump is equipped with a two-stage GM (Gifford- McMahon) cryocooler. The GM cryocooler can absorb heat of 80.21 W and 8.05 W at each stage under the temperature of 69.59 K and 17.98 K, respectively. At this time, The electric consumption is recorded to be 5.77 kW. Reliability test on the GM cryocooler is also being conducted to secure track-record in commercializing the developed cryopump (currently 6,500 hours passed). For the cryopump, using nitrogen gas, the ultimate pressure and pumping speed are measured to be 9.07×10<SUP>-9</SUP> mbar and 11,473 L/s.

#GM Cryocooler #Cryopump #Large Capacity #Ultra High Vacuum

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