UV 레이저를 이용한 광경화성 고분자/금속 산화물 기반의 미세 전자회로 패터닝 기술 개발

이종혁; 임하나; 김인애; 박수정; 양찬우; 김현종

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저자정보: 이종혁 (인하대학교) 임하나 (한국생산기술연구원) 김인애 (한국생산기술연구원) 박수정 (한국생산기술연구원) 양찬우 (한국생산기술연구원) 김현종 (한국생산기술연구원)

저널정보: 한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2022년도 한국표면공학회 춘계학술대회

발행연도: 2022.6

수록면: 193 - 193 (1page)

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#전자회로 #패터닝 #구리 무전해도금 #3D-MID #UV 레이저

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