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본 논문은 집적화된 소형의 분광모듈 구현을 위한 나노회절격자의 설계 및 제작에 관한 연구이다. 제안된 평면 구조의 나노회절격자는 회절격자로부터 반사된 빛을 집광하기 위하여 비등간격의 구조로 설계되었으며, 400 nm에서 650 nm까지의 파장 대역폭에서 균등한 분해능을 가지도록 비대칭 V 홈 구조를 가지도록 설계되었다. 최적 설계된 나노회절격자를 저가, 대량 생산에적합한 UV-NIL 공정을 통해 제작하기 위하여 FT-IR 흡수스펙트럼을 분석하였으며, 이를 통해 5 nm 이내의 치수 정밀도를 가진고분자 나노회절격자를 제작 할 수 있었다. 제작된 고분자 기반 나노회절격자를 이용한 집적형 분광모듈은 250 nm의 파장 대역폭에서 각 첨두파장의 기준으로 5 nm의 균등한 파장 분해능을 확인하였으며, 이는 다양한 분광모듈의 적용분야에 적용될 것으로기대된다.
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R. F. Wolffenbuttel / 2005 / MEMS-based optical mini- and microsepctrometers for the visible and infrared spectral rage / J.Micromech. Microeng 15:145~152
M. C. Estevez / 2012 / Integrated optical devices for lab-on-a-chip biosensing applications / Laser Photonic Rev 6:463~487
K. DeVos / 2007 / Silicon-on-Insulator microring resonator for sensitive and label-free biosensing / Opt. Express 15:7610~7615
J. Brouckaert / 2007 / Planar concave grating demultiplexer fabricated on a nanophtonic silicon-on-insulator platform / J. Lightw. Technol 25:1269~1275
W. Bogaerts / 2010 / Silicon-oninsulator spectral filters fabricated with CMOS technology / IEEE. J. Sel. Top. Quantum Electron 16:33~44
M. C. Estevez / 2012 / Integrated optical devices for lab-on-a-chip biosensing applications / Laser Photonic Rev 6:463~487
K. DeVos / 2007 / Silicon-on-Insulator microring resonator for sensitive and label-free biosensing / Opt. Express 15:7610~7615
J. Brouckaert / 2007 / Planar concave grating demultiplexer fabricated on a nanophtonic silicon-on-insulator platform / J. Lightw. Technol 25:1269~1275
W. Bogaerts / 2010 / Silicon-oninsulator spectral filters fabricated with CMOS technology / IEEE. J. Sel. Top. Quantum Electron 16:33~44
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