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본 논문에서는 MAC(metal-assisted chemical) 에칭을 이용하여 Ge(Germanium) 표면에 나노구조를 형성하고, 그 위에 열팽창계수가 높은 PDMS를 적용하여 광음향효과를 이용한 초음파 발생 소자를 제작하였다. Ge 나노구조 위에 PDMS를 스핀 코팅하여만든 초음파 발생 소자는 100 nm Cr(Chromium) 대비 약 3배의 초음파를 발생시켰다. 또한, Ge 나노구조를 PDMS 중앙에 위치시킬 경우 쿼츠 기판을 통한 열손실이 줄어들어 100 nm Cr 대비 8.5배의 강한 초음파를 얻을 수 있었다.
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M. Riccabona / 1996 / Threedimensional ultrasound: accuracy of distance and volume measurements / Ultrasound Obstet. Gynecol 7:429~434
D. S. Kopylova / 2008 / Thickness measurement for submicron metallic coatings on a transparent substrate by laser optoacoustic technique / Acoustical Physics 54:783~790
남승윤 / 2014 / Array-Based Real-Time Ultrasound and Photoacoustic Ocular Imaging / Current Optics and Photonics 18(2):151~155
R. J. von Gutfeld / 1979 / Laser-generated MHz elastic waves from metallic-liquid interfaces / Appl. Phys. Lett 34:617
Y. Hou / 2006 / Optical generation of high frequency ultrasound using two-dimensional gold nanostructure / Appl. Phys. Lett 89:093901
D. S. Kopylova / 2008 / Thickness measurement for submicron metallic coatings on a transparent substrate by laser optoacoustic technique / Acoustical Physics 54:783~790
남승윤 / 2014 / Array-Based Real-Time Ultrasound and Photoacoustic Ocular Imaging / Current Optics and Photonics 18(2):151~155
R. J. von Gutfeld / 1979 / Laser-generated MHz elastic waves from metallic-liquid interfaces / Appl. Phys. Lett 34:617
Y. Hou / 2006 / Optical generation of high frequency ultrasound using two-dimensional gold nanostructure / Appl. Phys. Lett 89:093901
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