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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
이종완 (한림대학교)
저널정보
한국물리학회 새물리 새물리 제71권 제12호
발행연도
2021.12
수록면
1,090 - 1,095 (6page)

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XPS (X-ray Photoelectron Spectroscopy: X-선 광전자 분광법)의 가장 중요한 응용분야 중의 하나는 AR-XPS (Angle-resolved XPS) 를 이용한 박막의 두께 측정이다. XPS 데이터로부터 박막의 두께를 쉽게 계산하기 위해서 nomogram인 소위 Thickogram이 개발되었다. 종이에 복사해서 자와 연필로 직선을 그어 교차점을 읽어 사용하는 Thickogram은 이제는 불편할 수 밖에 없다. 본 논문에서는 파이썬 언어를 이용하여 컴퓨터 프로그램으로 Thickogram을 자동화시켰으며 누구나 쉽게 박막의 두께를 계산할 수 있도록 인터넷 상에 오픈소스로 웹사이트를 제공하였다.
#Python #Web program #Thickogram #Film thickness measurement #파이썬 #웹 프로그램 #박막 두께 측정

목차

I. 서론
II. 본론
III. 결론
EFERENCES

참고문헌 (11)

참고문헌 신청
S. Hofmann / 2013 / Auger- and X-Ray Photoelectron Spectroscopy in Materials Science / Springer :7 google schola J. C. Vickerman / 2009 / Surface Analysis – The Principal Techniques / Wiley :19 google schola P. J. Cumpson / 2000 / Surf. Interface Anal 29:403 google schola Python homepage google schola VPython homepage google schola

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