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저자정보
최준하 (과학기술연합대학원대학교) 신영관 (과학기술연합대학원대학교) 조성학 (과학기술연합대학원대학교)
저널정보
한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2022 한국생산제조학회 춘계학술대회 논문집
발행연도
2022.7
수록면
86 - 86 (1page)

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2022

플랫탑 빔을 이용한 점, 선, 면 형태 LIPSS의 주기성 향상에 관한 연구
최준하 ,  신영관 ,  조성학 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2022.07 학술대회자료
실리콘 웨이퍼에서의 플랫탑 빔을 이용한 LIPSS 주기성 향상
최준하 ,  신영관 ,  조성학 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2022.05 학술대회자료

2021

플랫탑 빔을 이용한 실리콘 웨이퍼 위의 LIPSS 제작에 관한 연구
최준하 ,  신영관 ,  최원석 외 1명 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2021.12 학술대회자료

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#Flat-top beam shaping #Laser-induced periodic surface structures(LIPSS) #large area

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