렌즈 방식 전자빔 지연 전위 에너지 분석기 개발

박인용; 황준혁; 이하림; 타카시 오가와

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 박인용 (한국표준과학연구원) 황준혁 (한국표준과학연구원) 이하림 (한국표준과학연구원) 타카시 오가와 (한국표준과학연구원)

저널정보: Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2022년도 춘계학술대회 논문집

발행연도: 2022.5

수록면: 718 - 718 (1page)

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#Electron beam #Energy spread #Retarding field energy analyzer

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소속기관 한국표준과학연구원

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타카시 오가와

소속기관 한국표준과학연구원

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

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