압전 액추에이터를 이용한 저전압 구동 MEMS 가변 캐패시터

황현석

doi:10.5370/KIEEP.2022.71.2.107

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자료유형: 학술저널

저자정보: 황현석 (서일대학교)

저널정보: 대한전기학회 전기학회논문지 P 전기학회논문지 제71P권 제2호

발행연도: 2022.6

수록면: 107 - 110 (4page)

DOI: 10.5370/KIEEP.2022.71.2.107

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In this work, low voltage MEMS variable capacitor was presented. Compare with other RF MEMS technologies, piezoelectric MEMS devices offer certain benefits such as low actuation voltage and fast moving, etc. The proposed structure consists of dual piezoelectric actuation bridges of in-plane polarized lead zirconate titanate (PZT) film to improve actuation voltage and reliability of devices. The PZT thin film, deposited on Au structural layer using RF magnetron sputtering method, was poled and driven with interdigitated electrodes(IDEs) to exploit d<SUB>33</SUB> mode actuation. The in-plane polarized PZT films make it possible to develope d<SUB>33</SUB> mode bending devices which lead to about two times improvement in strain performance. The fabricated variable capacitor shows that the tuning range is varied 100.9 to 111.2 nF with control voltage ranging from 0 to 1 V.

#variable capacitor #MEMS #piezoelectric #in-plane polarization #IDEs

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