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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 저널정보
- 한국전자파학회JEES Journal of Electromagnetic Engineering And Science Journal of Electromagnetic Engineering And Science Vol.22 No.1
- 발행연도
- 2022.1
- 수록면
- 28 - 33 (6page)
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A liquid permittivity sensing method is proposed, which is based on measuring the S<SUB>21</SUB> of an on-chip capacitor submerged in a material under test (MUT). The real part of permittivity can be estimated from ɛ′ – |S<SUB>21</SUB>| fitted relation in the frequency range of 100 MHz–5 GHz, which are pre-calibrated with four kinds of known materials. The on-chip capacitor is realized with a top metal in a complementary metal oxide semiconductor (CMOS) process, which has an inter-digitized structure featuring a small size of 150 μm × 195 μm. A simple circuit model of the capacitor is used to develop ɛ′ – |S<SUB>21</SUB>| relation with a fitting parameter. It shows less than 6.4% root-mean-square (rms) error of ɛ′ for propanol (C₃H<SUB>8</SUB>O) at 100 MHz–5 GHz.
목차
Abstract
I. INTRODUCTION
II. CIRCUIT MODEL OF SENSING CAPACITOR
III. MEASUREMENT RESULTS AND CURVE FITTING CALIBRATION
IV. CONCLUSION
REFERENCES
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