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학술대회자료
저자정보
이기훈 (KAIST) 박인규 (KAIST)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2021년도 추계학술대회 논문집
발행연도
2021.11
수록면
424 - 424 (1page)

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최근 광투과식 압력센서는 주변 환경에 영향을 적게 받는 안정성과, 태양광을 활용한 자가 발전 가능성 덕분에 주목을 받고 있다. 광투과식 압력센서는 일반적으로 압력에 따라 광투과도가 증가하는 다공성 구조를 활용한다. 대표적인 다공성 구조인 설탕 몰드를 활용한 엘라스토머 마이크로 다공성 구조는 간단한 공정과 높은 민감도의 장점을 가진다. 하지만 엘라스토머 마이크로 다공성 구조는 두꺼운 두께와 한정된 압력 측정 범위(약 100 kPa)의 한계를 가진다. 따라서 본 연구에서는 기존 엘라스토머 마이크로 다공성 구조를 개선하기 위해 연마재 몰드를 사용하여 제작한 ... 전체 초록 보기
#Abrasive mold #Multiple layers #Piezo-transmittance sensor

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