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박종규 (조선대학교) 조진희 (조선대학교) 송민관 (조선대학교) 주기남 (조선대학교)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2021년도 추계학술대회 논문집
발행연도
2021.11
수록면
163 - 163 (1page)

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일반적인 현미경은 대물렌즈의 초점이 맞지 않는 영역에서 반사되어 되돌아 오는 광으로 인해, 시편의 선명한 상을 획득하기 어렵다. 이를 개선하기 위해 제안된 공초점 주사 현미경은 초점에 맞는 광만으로 검출하여 시편의 상을 획득하기 때문에, 선명한 영상을 획득할 수 있으나 측정원리상 점측정 방식으로 인해 3 차원 영상을 획득하기 위해서는 Nipkow 디스크와 마이크로 렌즈 배열과 같은 고가의 장치를 필요로 한다. 패턴 조사 현미경은 이와는 달리 임의의 공간 패턴을 가지는 광을 이용하여 공초점 주사 현미경과 같은 원리로 시편의 3 차원 영상을 획득할 수 있다. 그러나 패턴 조사 현미경은 횡축 및 종축 구동부로 인하여, 측정 속도 및 진동으로 인한 성능 한계가 ... 전체 초록 보기
#Structured illumination microscopy #Spatial phase shifting #Polarization pixelated camera

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