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이제민 (창원대학교) 김석 (창원대학교) 조영태 (창원대학교)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2021년도 추계학술대회 논문집
발행연도
2021.11
수록면
60 - 60 (1page)

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유전영동은 균일하지 않은 전기장에서 입자의 분극을 유도하여 입자의 움직임을 제어할 수 있는 기술로서 유전영동의 힘은 Clausious-mossotti Factor 에 의해 입자의 거동 방향이 결정되고, 입자의 크기와 인가전압에 비례하기 때문에 작은 입자에 대해서도 전기장의 강도가 높은 영역으로 당겨지는 양의 유전영동과 낮은 영역으로 밀려나는 음의 유전영동이 나타난다. 금속배선의 비대칭 구조에 의해 발생하는 불균일한 전기장은 전극 모서리(Edge)부분에서 전기장의 강도가 강하게 나타남에 따라 미세입자에 가해지는 유전영동 힘 또한 강하게 나타난다. 본 연구에서는 비대칭 금속배선에 전압을 인가하여 유전영동을 발생시키고, 나노임프린트 리소그래피 공정(Nanoimprint Lithography)으로 서로 연결된 마이크로공동(Microcavity) 구조를 형성하여 유전영동력을 이용해 공동 안으로 미세입자를 포집하는 기술을 제안한다. 입자의 거동을 확 ... 전체 초록 보기
#Dielectrophoresis #Clausius-mossotti factor #Metal wire #Particle capture

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