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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2021.12
- 수록면
- 105 - 105 (1page)
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Advanced nanopatterning methods for pattern formation of high-resolution structures are essential for next-generation device fabrications. For several decades, one of nanofabrication techniques, nanotransfer printing (nTP) has received considerable attention due to its excellent pattern resolution, geometry diversity, and reliable compatibility with various lithography processes. Here, we introduce a useful nanopatterning method to create various three-dimensional (3D) nanostructures via thermally assisted nanotransfer printing (T-nTP) process. We show how to obtain topographically designed 3D nanoarchitectu ... 전체 초록 보기
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