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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
박현준 (한국생산기술연구원) 김준형 (풍산) 문경일 (한국생산기술연구원)
저널정보
한국표면공학회 한국표면공학회지 한국표면공학회지 제54권 제6호
발행연도
2021.12
수록면
357 - 364 (8page)

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In this study, DLC films deposited by PECVD were evaluated to the properties of super-hydrophobic by CF<sub>4</sub> treatment. The structure of DLC films were confirmed by Raman Spectra whether or not mixed sp³ (like diamond) peak and sp² (like graphite) peak. And the hydrogen contents in the DLC films (F-DLC) were measured by RBS analysis. In addition, DLC films were analyzed by scratch test for adhesion, nano-indentation for hardness and tribo-meter of Ball-on-disc type for friction coefficient. In the result of analysis, DLC films had traditional structure regardless of variation of hardness at constant conditions. Also adhesion of DLC film was increased as higher material hardness. Otherwise, friction coefficient was increased as lower material hardness. The DLC films were treated by CF₄ plasma treatment to enhance the properties of super-hydrophobic. And the DLC films were measured by ESEM(Enviromental Scanning Electron Microscope) for water condensation.

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험방법
3. 실험결과
4. 결론
References

참고문헌 (23)

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