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저자정보
Jaeho Park (Korea Institute of Science and Technology (KIST)) Yu-Chan Kim (Korea Institute of Science and Technology (KIST)) Myoung-Ryul Ok (Korea Institute of Science and Technology (KIST)) Wonryung Lee (Korea Institute of Science and Technology (KIST)) Hyung-Seop Han (Korea Institute of Science and Technology (KIST)) Jeong-Yun Sun (Korea Institute of Science and Technology (KIST)) Hojeong, Jeon (Korea Institute of Science and Technology (KIST))
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2021년 학술대회
발행연도
2021.11
수록면
991 - 991 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2022

Improvement of anti-plasma etching property by the formation of dense coating layer containing yttrium via laser-induced hydrothermal one-step synthesis
Jaeho Pa ,  k ,  Sangmin Song 외 7명 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2022.05 학술대회자료

2021

Facile, effective and one-step laser coating technology of yttrium-based material in liquid environment for robust and anti-plasma property
Jaeho Pa ,  k ,  Yu-Chan Kim 외 7명 대한기계학회 춘추학술대회 2021.11 학술대회자료

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As the increasing demand for semiconductor, it has been studied for high integration, and miniaturization. Therefore, a more sophisticated process is essential such as plasma etching within high vacuum system. However, the inner wall of the etching equipment can be easily damaged since the surface is exposed to highly reactive atmosphere, so the surface should be coated with high corrosion resistant property. Currently, yttrium-based ceramic materials with excellent corrosion resistance (e.g, Y2O3, YOF) are synthesized and widely used as coating materials. The materials are used to apply in high-temperature and pressure system. However, residual stress, cracks, pores, and low coating strength o ... 전체 초록 보기
#Laser induced hydrothermal coating #Y2O3 #YOF #plasma-resistant

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