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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2012.1
- 수록면
- 231 - 236 (6page)
이용수
초록· 키워드
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Diamond like carbon (DLC) thin films with metallic interfacial layers of aluminum and nickel-chromium (Al and Ni-Cr) were grown using a low cost hybrid technique involving a resistive heating thermal evapo-rator and radio frequency plasma enhanced chemical vapor deposition techniques. Stress, hardness, elastic modulus, bonding, phase, and electrical conductivity of these films were investigated. Introduction of interfacial Al and Ni-Cr layers in DLC led to drastic improvement of its conductivity along with a signifi-cant reduction in residual stress but with some reduction of hardness and the elastic modulus. The struc-tural and surface properties of thin films were studied using X-ray diffraction, X-ray photoelectron spectroscopy, and scanning electron microscopy techniques.
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