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자료유형
학술저널
저자정보
G. Behzadi Pour (Islamic Azad University) L. Fekri Aval (Islamic Azad University)
저널정보
성균관대학교 성균나노과학기술원 NANO NANO Vol.12 No.8
발행연도
2017.1
수록면
52 - 59 (8page)

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In this study, two hydrogen sensors with Pd/SiO2/Si and Ni/SiO2/Si structures have been fabricated. Palladium nanoparticles are synthesized and then deposited on the oxide surface using spin coating. Capacitance–voltage curves for the Pd/SiO2/Si sensor at room temperature and for the Ni/SiO2/Si sensor at 140℃ in pure nitrogen and 1% H2–N2 mixture are described. The time required for reaching 90% of the steady-state signal magnitude (t 90%) for Pd/SiO2/Si capacitor was 1.4 s and for Ni/SiO2/Si capacitor was 90 s. The time interval for recovery from 90% to 10% of steady-state signal magnitude (t 10%) for Pd/SiO2/Si capacitor was 14 s and for Ni/SiO2/Si capacitor was 40 min. For the Pd/SiO2/Si capacitor, the response is 88% and for Ni/SiO2/Si capacitor the response is 29%. Comparison of Pd nanoparticles capacitive- and resistance-based sensors shows that the metal-oxide-semiconductor capacitive is faster and more sensitive than the resistance-based hydrogen gas sensors.

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W. J. Buttner / 2011 / Int. J. Hydrogen Energy 36:2462 google schola L. Boon-Brett / 2010 / Int. J. Hydrogen Energy 35:371 google schola M. Ramanathan / 2010 / Nanotechnology 21:125501 google schola M. Khanuja / 2007 / Appl. Phys. Lett 91:253121 google schola A. Tibuzzi / 2004 / MOSIEEE Trans. Nanotechnol 3:287 google schola

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