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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
이상현 (삼성전자) 배재현 (동의대학교) 이상민 (동의대학교)
저널정보
한국기계가공학회 한국기계가공학회지 한국기계가공학회지 제20권 제12호
발행연도
2021.12
수록면
123 - 128 (6page)

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Liquid dispensing systems are extensively used in various industries such as display, semiconductor, and battery manufacturing. Of the many types of dispensers, drop-on-demand piezoelectric jetting systems are widely used in semiconductor industries because of their ability to dispense minute volumes with high precision. However, due to the problems of nozzle clogging and undesirable dispensing behavior in these dispensers, which often result in device failure, the use of highly viscous fluids is limited. Accordingly, we studied the behaviors of droplet formation based on changes in viscosity. The effects of surface energy and the inner diameters of needle-type nozzles were also studied. Results showed that nozzles with lower surface energies reduced the ejection volume of droplets when a smaller nozzle diameter (0.21 mm in this study) was applied. These results indicate that the hydrophobic treatment of nozzle surfaces and the use of smaller nozzle diameters are critical factors enabling the use of highly viscous fluids in precision dispensing applications.
#Droplet(액적) #High Viscosity(고점도) #Dispenser(디스펜서) #Wettability(젖음성) #Nozzle(노즐)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 실험장치 및 방법
3. 실험결과 및 고찰
4. 결론
REFERENCES

참고문헌 (13)

참고문헌 신청
Jianping, L. / 2004 / Technology development and basic theory study of fluid dispensing-a review / Proceedings of the Sixth IEEE CPMT Conference on High Density Microsystem Design and Packaging and Component Failure Analysis (HDP '04) :198~205 google schola 김동건 / 2012 / 에어리스 스프레이 도장용 노즐 팁 설계에 관한 연구 / 한국기계가공학회지 11(6):183~188 dbpia Choi, I. H. / 2015 / Plug-in nanoliter pneumatic liquid dispenser with nozzle design flexibility / Biomicrofluidics 9(6):064102 google schola Lee, S. / 2009 / Development and characterization of a cartridge-type pneumatic dispenser with an integrated backflow stopper / Journal of Micromechanics and Microengineering 20(1):015011 google schola Trimzi, M. A. / 2020 / Development of a Piezo-Driven Liquid Jet Dispenser with Hinge-Lever Amplification Mechanism / Micromachines 11(2):117~134 google schola

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