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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2021.12
- 수록면
- 1,886 - 1,890 (5page)
- DOI
- 10.5370/KIEE.2021.70.12.1886
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Microwave plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) can offer high purified carbon materials, such as graphene, carbon nanotube, and carbon nanowall. Among them, carbon nanowall is grown from nucleation on substrate at comparatively low temperature because it need not catalyst materials. Instead, ratio by contents of gas is very significant. Herein, we report change in structural and electrical properties of carbon nanowall through gas ratio that is varied contents of two reaction gas. In FE-SEM analysis, carbon nanowall showed two-typed morphology and the number of pores with pore’s scale was different with increase of hydrogen gas flow rate. In FE-SEM analysis, two geometric morphology of carbon nanowall were confirmed with pore"s scale that was varied depending on gas ratio. Raman spectra consisting of D, G, and 2D bands showed that carbon nanowalls were pure carbon materials and composed with multi-layered vertical graphene sheets. In addition, carbon nanowalls were uniformly grown on polyimide film in each condition of gas ratio. Moreover, electrical characteristic was changed according to morphology and molecular structure of carbon nanowall via gas ratio.
목차
Abstract
1. 서론
2. 실험방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
References
참고문헌 (10)
참고문헌 신청
L. Cui / 2015 / RF-PECVD synthesis of carbon nanowalls and their field emission properties / Appl. Surf. Sci 357:1~7
X. Chen / 2015 / Large area CVD growth of graphene / Synthe. Met 210:95~108
Y. Chen / 2019 / Graphene as a Transparent and Conductive Electrode for Organic Optoelectronic Devices / Adv. Electron. Mater 5:1900247
P. P. Kuzhir / 2017 / Main principles of passive devices based on graphene and carbon films in microwave-THz frequency range / J. Nano- photonics 11:032504
S. Yun / 2018 / Water vapor transmission rate property of SiNx thin films prepared by low temperature (< 100°C) linear plasma enhanced chemical vapor deposition / Vacuum 148:33~40
X. Chen / 2015 / Large area CVD growth of graphene / Synthe. Met 210:95~108
Y. Chen / 2019 / Graphene as a Transparent and Conductive Electrode for Organic Optoelectronic Devices / Adv. Electron. Mater 5:1900247
P. P. Kuzhir / 2017 / Main principles of passive devices based on graphene and carbon films in microwave-THz frequency range / J. Nano- photonics 11:032504
S. Yun / 2018 / Water vapor transmission rate property of SiNx thin films prepared by low temperature (< 100°C) linear plasma enhanced chemical vapor deposition / Vacuum 148:33~40
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