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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2021.10
- 수록면
- 101 - 101 (1page)
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We study the orientation and ordering of nanodomains of a thickness-modulated lamellar block copolymer (BCP) thin film at each thickness region inside a topological nano/micropattern of bare silicon wafers without chemical pretreatments. With precise control of the thickness gradient of a BCP thin film and the width of a bare silicon trench, we successfully demonstrate (i) perfectly oriented lamellar nanodomains, (ii) pseudocylindrical nanopatterns as periodically aligned defects from the lamel ... 전체 초록 보기
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