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류주현 (세명대학교) 강수진 (세명대학교) 이종현 (세명대학교) 이용우 (세명대학교) 임인호 (신안산대학교) 김병규 (Amosense) 홍재일 (동서울대학교)
저널정보
한국전기전자재료학회 Transactions on Electrical and Electronic Materials Transactions on Electrical and Electronic Materials 제22권 제1호
발행연도
2021.1
수록면
91 - 96 (6page)

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In this study, for developing the multilayer piezoelectric actuator, the (Na,K)(Nb,Sb)O3 ?(Bi,Na)ZrO3 ceramics were manufactured and their dielectric and piezoelectric properties were investigated. The manufactured ceramics showed the excellent physical properties: density = 4.56 g/cm 2 , k p = 0.47, Q m = 50, ε r = 1944, and d 33 = 313 pC/N, suitable for piezoelectric actuator. The properties of the piezoelectric actuators are as follows: at the average size of 30.47 mm × 17.92 mm × 1.0 mm, resonance frequency fr = 69.87 kHz, anti-resonance frequency fa = 71.20 kHz, k p = 0.22, d 33 = 1120 pC/N were appeared, respectively. The three piezoelectric actuators connected in parallel showed the high vibration acceleration of 2.0G at 580 Hz under 70 V, suitable for the force feedback actuator.

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